第503章 时间就是金钱!特种气体之难

西蓉北郊。

西南特种电气工业公司。

虽然六月末的西蓉,天气十分酷热。

但为了热烈欢迎,远道而来的樱花半导体考察团。

身为公司总经理的汪学斌。

还是无惧炎热,带着公司高层,在办公楼前列队等候。

之所以如此热忱。

当然因为他对这一次的合作交流,抱有非常大的期望。

公司虽然从事工业气体研制生产很多年。

但过去市场需求有限、销售业绩不高,也不太可能下大力气进行相关技术研究。

谁也没想到……

这两年龙国的制造业,像是坐上了火箭似的,增长势头无比迅猛。

金属冶炼、石油化工、机械制造、食品加工、电子及半导体、医疗器械……

因为工业生产中不少环节,是不能直接暴露于空气之中,需要特殊气体参与反应。

所以制造业越发达,对工业气体的需求量就越大。

如果只是需要常见的氦气、氮气、氧气、二氧化碳等等这些。

汪学斌还不至于那么头疼。

毕竟这些常用工业气体的加工制备,技术工艺早就相对成熟。

可问题是……

龙国的电子信息产业,发展速度太迅猛了。

为了追求高精度、高质量、高性能,电子信息产业,对工业气体不仅需求量很大,要求还很高。

哪怕只是生产液晶显示面板所需要的氮气、氦气、氧气和氢气,纯度都要比食品工厂的高很多。

于是乎。

有关部门就将工业气体,分成了大宗气体和特种气体这两大类。

将用于满足冶金、化工、机械制造等普通工业生产的大宗气体研制任务,从公司剥离了出去。

让公司专门负责,研究生产用于满足集成电路、液晶面板、医疗仪器、芯片制造的特种气体。

这个任务,真是光荣又艰巨啊!

光荣在于研制特种气体,有力支撑龙国的高端制造业发展,是利国利民的一件大好事。

艰巨在于特种气体,是真不好研制。

就拿生产芯片来说。

从最开始制造硅片,将高纯度硅拉单晶、磨外圆、切片、倒角、磨削等等制造成晶圆,就需要大量使用高纯度的氯化氢、氢气和氩气了。

而开始进行光刻加工的时候,需要氟气、氪气、氖气等好几种特种气体。

刻蚀清洗,除了常用的几种特种气体,还需要溴化氢、氯化氢、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十几种。

离子注入的时候,又需要氟化砷、四氟化硅、氙气等。

掺杂之时要乙硼烷、砷化氢,以及不少含硼磷砷的三族及五族原子之气。

除此之外,还有很多工艺环节,都还需要相应的特种气体。

林林总总加一起。

要想生产高性能的合格芯片,竟然需要一百多种特种气体。

需要的特种气体种类多,都还不算什么难事。

真正让人头疼的,是这些特种气体的纯度要求太高了。

用于普通工业生产的大宗气体,纯度只要达到了99.99%,就已经很不错了。

而用于电子科技产品的呢?

哪怕只是生产6寸以下、不低于0.25微米线宽的晶体管和晶闸管,纯度都要百分之九十九点九九九。

而要生产大规模集成电路、特殊电子元器件、纳米级线宽大尺寸芯片,需要的纯度,必须高于百分之九十九点九九九九。

特种气体的纯度越高,越有利于芯片加工生产,可以大大提高芯片的良品率。

可是纯度已经很高的气体,再想进一步的提纯,难度实在是太大了。

就像一张满分是一百的试卷。

从六十分及格,努力学习考到九十分并不难,因为提升空间很大。

再努努力,从九十分提升到九十五分,也并非不可能。

但九十五分以上,想一题不错的考个满分,就真是太难了。

什么电解法、化学法、吸附法、精馏法等等,各种方式方法看似不少。

但不同的方法,需要不同的设备和工艺,里面的门道实在是太多了。

就像同样是电解法,需要的直流电应该多大电流?多高电压?作用多长时间才能确保氧化还原最佳?

而用化学法提纯六氟化钨、三氯氢硅等,又需要用什么样的催化剂、在怎样的容器中进行反应?

而且吸附法制备六氟丁二烯、高纯砷烷等气体,吸附装置、吸附材料、吹扫设备等等,也需要很考验技术功底。

至于膜分离、气体分离、冷冻分离、催化分离等等手段,对没从事过相关研究的人来说,那就更是难以想象的困难了。

然而……

如何提纯获得超高纯度的特种气体,就已经技术门槛很高,需要耗时多年进行潜心研究、不断改进。

而除了制取难、提纯难之外,特种气体的存储与运输,也是一大难题。

用于存储运输的钢瓶,不仅要承受足够的压强、经得起腐蚀、扛得住温差,关键还是要足够的干净。

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这种‘干净’,可以说几乎要不含一丁点杂质。

公司经过很多研究试验,才摸索出了钢瓶的加工制造方法。