西蓉北郊。
西南特种电气工业公司。
虽然六月末的西蓉,天气十分酷热。
但为了热烈欢迎,远道而来的樱花半导体考察团。
身为公司总经理的汪学斌。
还是无惧炎热,带着公司高层,在办公楼前列队等候。
之所以如此热忱。
当然因为他对这一次的合作交流,抱有非常大的期望。
公司虽然从事工业气体研制生产很多年。
但过去市场需求有限、销售业绩不高,也不太可能下大力气进行相关技术研究。
谁也没想到……
这两年龙国的制造业,像是坐上了火箭似的,增长势头无比迅猛。
金属冶炼、石油化工、机械制造、食品加工、电子及半导体、医疗器械……
因为工业生产中不少环节,是不能直接暴露于空气之中,需要特殊气体参与反应。
所以制造业越发达,对工业气体的需求量就越大。
如果只是需要常见的氦气、氮气、氧气、二氧化碳等等这些。
汪学斌还不至于那么头疼。
毕竟这些常用工业气体的加工制备,技术工艺早就相对成熟。
可问题是……
龙国的电子信息产业,发展速度太迅猛了。
为了追求高精度、高质量、高性能,电子信息产业,对工业气体不仅需求量很大,要求还很高。
哪怕只是生产液晶显示面板所需要的氮气、氦气、氧气和氢气,纯度都要比食品工厂的高很多。
于是乎。
有关部门就将工业气体,分成了大宗气体和特种气体这两大类。
将用于满足冶金、化工、机械制造等普通工业生产的大宗气体研制任务,从公司剥离了出去。
让公司专门负责,研究生产用于满足集成电路、液晶面板、医疗仪器、芯片制造的特种气体。
这个任务,真是光荣又艰巨啊!
光荣在于研制特种气体,有力支撑龙国的高端制造业发展,是利国利民的一件大好事。
艰巨在于特种气体,是真不好研制。
就拿生产芯片来说。
从最开始制造硅片,将高纯度硅拉单晶、磨外圆、切片、倒角、磨削等等制造成晶圆,就需要大量使用高纯度的氯化氢、氢气和氩气了。
而开始进行光刻加工的时候,需要氟气、氪气、氖气等好几种特种气体。
刻蚀清洗,除了常用的几种特种气体,还需要溴化氢、氯化氢、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十几种。
离子注入的时候,又需要氟化砷、四氟化硅、氙气等。
掺杂之时要乙硼烷、砷化氢,以及不少含硼磷砷的三族及五族原子之气。
除此之外,还有很多工艺环节,都还需要相应的特种气体。
林林总总加一起。
要想生产高性能的合格芯片,竟然需要一百多种特种气体。
需要的特种气体种类多,都还不算什么难事。
真正让人头疼的,是这些特种气体的纯度要求太高了。
用于普通工业生产的大宗气体,纯度只要达到了99.99%,就已经很不错了。
而用于电子科技产品的呢?
哪怕只是生产6寸以下、不低于0.25微米线宽的晶体管和晶闸管,纯度都要百分之九十九点九九九。
而要生产大规模集成电路、特殊电子元器件、纳米级线宽大尺寸芯片,需要的纯度,必须高于百分之九十九点九九九九。
特种气体的纯度越高,越有利于芯片加工生产,可以大大提高芯片的良品率。
可是纯度已经很高的气体,再想进一步的提纯,难度实在是太大了。
就像一张满分是一百的试卷。
从六十分及格,努力学习考到九十分并不难,因为提升空间很大。
再努努力,从九十分提升到九十五分,也并非不可能。
但九十五分以上,想一题不错的考个满分,就真是太难了。
什么电解法、化学法、吸附法、精馏法等等,各种方式方法看似不少。
但不同的方法,需要不同的设备和工艺,里面的门道实在是太多了。
就像同样是电解法,需要的直流电应该多大电流?多高电压?作用多长时间才能确保氧化还原最佳?
而用化学法提纯六氟化钨、三氯氢硅等,又需要用什么样的催化剂、在怎样的容器中进行反应?
而且吸附法制备六氟丁二烯、高纯砷烷等气体,吸附装置、吸附材料、吹扫设备等等,也需要很考验技术功底。
至于膜分离、气体分离、冷冻分离、催化分离等等手段,对没从事过相关研究的人来说,那就更是难以想象的困难了。
然而……
如何提纯获得超高纯度的特种气体,就已经技术门槛很高,需要耗时多年进行潜心研究、不断改进。
而除了制取难、提纯难之外,特种气体的存储与运输,也是一大难题。
用于存储运输的钢瓶,不仅要承受足够的压强、经得起腐蚀、扛得住温差,关键还是要足够的干净。
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这种‘干净’,可以说几乎要不含一丁点杂质。
公司经过很多研究试验,才摸索出了钢瓶的加工制造方法。