第39章 高精度

星图深吸一口气,心中暗自下决心,一定要带领团队攻克光刻机的难关。

他回到控制台前,仔细查看各项数据。

随后星图询问脑海中的系统如何通过改进光刻胶的配方,进一步提高光刻的分辨率,系统回答了星图的疑问。

星图身处一个充满未来感的实验室,周围环绕着先进的化学分析仪器和光刻设备。他站在一台高精度的光刻机旁,凝视着屏幕上复杂的分子结构和光刻过程数据,眼神中流露出对技术的无限热爱与探索的渴望。

星图轻声自语对着脑海中的智能系统询问:“我们已经在光刻机的光学系统和掩模版技术上取得了突破,但这还不够。光刻胶的性能直接影响着光刻的分辨率,我感觉还有提升的空间。系统,你能给我解释一下,如何通过改进光刻胶的配方来进一步提高光刻的分辨率吗?”

系统在星图的脑海中回应:“当然,星图。光刻胶是光刻过程中的关键材料,它的性能直接影响着光刻图案的精度和分辨率。改进光刻胶的配方主要可以从以下几个方面入手:

提高光刻胶的感光性:通过优化光引发剂的种类和浓度,可以提高光刻胶对特定波长光的敏感度,比如使用适当浓度的硅酸,α-羟基酮类、苯偶酰类从而实现更精细的图案转移。

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增强光刻胶的化学稳定性:改进光刻胶的化学成分,可以选择6%高碳纤维3%高精度珪,使其在光刻过程中更加稳定,减少化学反应中的副产品,避免图案变形或尺寸变化。

“太好了,我这去实验。”星图说道。随后星图就让李教授和张华,赵强按照7%浓度硅酸和7%的α-羟基酮类自由基去配置光学引光剂。众人表示不解,这不是标准。

星图向团队成员解释:“根据我对光引发剂的最新研究,将7%浓度的硅酸与7%的α-羟基酮类自由基混合,有望制备出一种新型的光引发剂,这种组合可能在光刻胶中展现出更优异的性能,尤其是在提高分辨率和光刻图案的保真度方面。”

李教授略带疑惑地说:“星图,硅酸在光刻胶中的应用并不常见,你确定这种组合可行吗?”

星图自信地说道:“是的,李教授,我查阅了大量文献,并与智能系统进行了深入的探讨。理论上,硅酸可以增强光刻胶的化学稳定性和抗蚀性,而α-羟基酮类自由基是已知的高效光引发剂。两者的结合可能产生协同效应,值得我们尝试。”

张华拿起试剂瓶,准备称量:“星老师,我明白了,我们按照你的指示配置光引发剂,然后进行初步的性能测试。”

赵强调整混合器的参数:“对,我们先从小规模开始,确保配方的准确性和混合的均匀性。”