绿光条越长,说明这选择更能实现目标。
相反,如果绿光很短,或是显示红光条,那就完全就不能选。
持续不断地选择,让江奕辰越来越接近这个技术的正确答案,有点像数学中的逼近,江奕辰的选择几乎不会出错。
在光刻机设计和制造过程中,除了轰击锡靶之外,自然还有其他潜在的极紫外光产生方式。
比如说,同步辐射光源和自由电子激光也是能够产生极紫外光的高级光源技术。
但大部分是用于科学研究或特定工业应用,而不是直接用于大规模芯片生产。
江奕辰通过强大的开创性设计,提出了激光诱导气体等离子体技术,便是利用高强度激光束照射特定气体(如氙气、氩气等稀有气体),通过激光与气体的相互作用,使气体电离并形成等离子体。
等离子体中的高能电子与离子复合时,会发射出极紫外光。
当然,理论是这样,实际设计和制造过程中会遇上不少难题。
但江奕辰拿出这个技术,便是在设计上理论上已经没有了问题,是一个可以探索实验的方案。
“江董,根据总设方案,我们打算自己做光源系统、曝光系统,现在需要订购的部件支撑,主要有透镜系统、双工件台这些,初步确定了几家供应商,但他们目前的产品,远远达不到我们的要求。”