这种晶体透光率非常不错。
唯独的缺点,是热膨胀系数不太好。
这也是作为改良后的增大折光率透镜后,需要一段时间后更换。
但,当初研究的时候,既有两个方向,另外,镓镁晶体在江奕辰的模拟中,还是有更多作用。
科研人员派了出去,每天都在汇总新的问题到华辰微电子。
江奕辰也化身科研狂人,一同远程参谋指导。
效果,却也是明显的。
等到快6月份的时候,在江奕辰新型晶体材料的支撑下,长光所拿出了符合要求的透镜。
整个新型EUV光刻机的透镜系统,一共由五组高精度透镜组成,每组透镜都经过精密的打磨与调配,确保了光线的精准聚焦与传输。
其中,最关键的一组透镜便是采用了江奕辰提供的新型镓镁晶体制造而成,尽管其热膨胀系数存在一定的挑战,但通过特殊的冷却系统与动态调整机制,有效延长了其使用寿命,并保证了光刻过程中的稳定性与精度。
随着透镜系统的完成,整个光刻机的组装工作也进入了尾声。
江奕辰带领团队,对光刻机的每一个部件进行了细致的调试与优化,确保从光源到最终成像的每一个环节都能达到最佳状态。
期间,他们还解决了多起技术难题,包括但不限于光源稳定性的提升、曝光时间的精确控制以及自动化流程的优化等。
6月1日,各个部件已经准备好。
江奕辰带着黄小婷、纪年华等工程师们开始了组装大业。
光是组装,便装了足足二十天。
花了巨资采购的部件,加上自身研究的光源系统、曝光系统,让这个光刻机,虽然是试验机,但造价已然超过了2个亿。
一个粗糙,但功能设计已经齐全的庞然大物,就被工程师们搭积木一般,建了起来。
看着这个东西,众人都激动澎湃。
“江董,您太厉害了,没想到我们真的把一个EUV光刻机整出来了!”
看到纪年华的吹捧,江奕辰摆手,“还没有实验成功呢,急什么。”
“一定会成功的!”
“您说,我们这个光刻机,叫什么名字好?”
“……”